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第892章 不是替代是重做!这座百年巨塔,已经在推了!

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    合作攻关组挂牌后的第一个清晨,303所门口来了三辆黑色通勤车。
    车身没有标识。
    车窗贴着深色防窥膜。
    车门打开时,先下来的是两名安保,随后才是几个头发花白的老人。
    他们每个人手里都拎着加密箱。
    箱体上贴着红色封条。
    【绝密光学资料】
    秦立成站在门口迎接,声音压得很低。
    “许总,他们到了。”
    许燃从大厅里走出来,看了一眼队伍最前方的白发老人。
    张怀民低声介绍:
    “罗世钧院士。”
    “国内传统光刻物镜这一块,绕不开他。”
    罗世钧穿着灰色夹克,背挺得很直,眼神像磨旧的机床刀头,旧归旧,刃还利。
    他伸出手。
    “许总,久仰。”
    许燃握住他的手。
    “辛苦了。”
    罗世钧看向许燃身后的地下通道。
    “我们带来的东西,不能在普通会议室展开。”
    “这里面有十七套高数值孔径物镜路线,两套极限备选方案,还有一批从没公开过的玻璃熔炼和镀膜数据。”
    旁边一名中年专家补了一句:
    “这是我们几十年一点点啃下来的家底。”
    许燃点头。
    “去地下二层密室。”
    陈容与远程窗口一亮,忍不住插了一句:
    “欢迎各位光学前辈莅临原子排队现场。”
    老郑看了他一眼。
    “你少说两句,没人把你当哑巴。”
    陈容与立刻缩回去。
    “收到,我安静。”
    没人理他。
    半小时后。
    地下二层光学评审室。
    所有加密箱开启。
    一摞摞资料被摆上桌。
    超低膨胀玻璃。
    氟化钙晶体。
    多组非球面镜。
    超高精度镀膜。
    主动热漂移补偿。
    七十二点波前控制。
    几名老专家站在屏幕前,讲得不快。
    罗世钧指着主图。
    “我们不否认烛龙的原子制造路线有突破。”
    “可只要涉及光场诊断,只要涉及势阱闭合,就绕不开物镜。”
    “阿贝极限不是一句口号。”
    “数值孔径、波长、相干性、像差控制,这些东西不讲情面。”
    他停顿一下,看向许燃。
    “许总,你要做0.1纳米,我们支持。”
    “但前端诊断物镜,不能靠想象。”
    另一名老专家接过话。
    “这套方案如果拿到完整供应链,能支撑国内7纳米验证。”
    “再往前走,很难。”
    “可在现有条件下,这已经是国内极限。”
    会议室里没人打断。
    秦立成坐在后排,听得手心冒汗。
    这些老专家不是来拖后腿的。
    他们是真把压箱底的东西带来了。
    东西不新。
    却是国内磨得最锋利的一套方案。
    许燃翻资料的速度却越来越快。
    第一页。
    第三页。
    第九页。
    第二十七页。
    罗世钧看着他的手,眉头慢慢皱起。
    “许总,不用全看完?”
    许燃把资料合上。
    “看完了。”
    屋里瞬间安静。
    那名中年专家忍不住开口:
    “这可是十七套方案。”
    “有些波前模型,一页公式推导就够看半天。”
    许燃抬头。
    “结论一样。”
    罗世钧盯着他。
    “什么结论?”
    许燃只说了两个字。
    “落后。”
    空气像一下子凝住了。
    中年专家脸色当场沉下去。
    “许总,这话过了吧?”
    “我们承认你在能源、空天、原子制造上走到了前面。”
    “可光学物镜这条路,我们这帮人走了一辈子。”
    “你翻了几页,就说落后?”
    另一名老人也开口:
    “这套方案承载了几代人的心血。”
    “为了那块玻璃,我们有人在炉前守了三个月。”
    “为了一个镀膜窗口,我们报废过上百片基底。”
    “落后两个字,太轻了。”
    罗世钧没有拍桌子。
    他只是把眼镜摘下来,慢慢擦了一遍。
    “许总,我想听理由。”
    张怀民看向许燃,没有劝。
    他太清楚许燃。
    这小子嘴狠。
    可从来不空口伤人。
    许燃站起来,走到屏幕前。
    “我说落后,不是说你们落后。”
    “是这套打法落后。”
    他点开方案主图。
    “多组镜片堆叠。”
    “高数值孔径硬冲。”
    “靠材料均匀性压像差。”
    “靠主动补偿修热漂移。”
    “靠更高加工精度去堵每一个误差口。”
    “你们是在和阿贝极限硬碰硬。”
    “就算打赢了,也只是追上西方昨天的路线。”
    中年专家咬牙。
    “那你说,不打阿贝极限,打什么?”
    许燃看向周群。
    “开测试台。”
    周群已经站起来。
    “普通光源?”
    “普通光源。”
    罗世钧眉头一跳。
    “普通光源?”
    “你拿普通光源测超分辨物镜?”
    陈容与的远程窗口又亮了。
    “罗院,先别急。”
    “我们这边一向讲究朴素,能简单测,就不先上大阵仗。”
    老郑直接关了他的麦。
    周群把一套便携测试台推到桌前。
    它不大。
    没有庞大的真空腔和一人高的镜筒。
    中间只放着一片薄薄的模块。
    那东西看起来像几层透明薄片叠在一起。
    边缘泛着一点暗灰色金属光。
    中年专家看得一愣。
    “这是什么?”
    周群说:
    “透镜模组。”
    他把光路锁定。
    罗世钧差点气笑。
    “这也叫透镜?”
    “遮光片都比它厚。”
    许燃没有解释。
    “上标准板。”
    周群放入亚波长刻线样品。
    普通光源点亮。
    一束白光穿过那片薄得不像话的模组,落到探测屏上。
    一开始,屏幕上只有模糊亮斑。
    几秒后,简瑶接入边界态解码模型。
    画面一跳。
    原本该糊成一片的细微结构,被一点点撕开。
    刻线。
    断点。
    边缘缺陷。
    局部材料起伏。
    全都露了出来。
    会议室里没人说话。
    罗世钧身体猛地前倾。
    中年专家第一个反应过来。
    “不可能。”
    “探测器过采样。”
    周群看向他。
    “换。”
    备用探测器接入。
    结果不变。
    另一名老人立刻说:
    “算法重构。”
    简瑶抬头。
    “关掉补偿算法,只保留原始相位映射。”
    画面再次刷新。
    细节少了一点。
    可超分辨结构还在。
    罗世钧声音发紧。
    “换样品。”
    秦立成立刻让人送上另一块随机缺陷标定片。
    周群重新校准光路。
    白光穿过模组。
    屏幕上又一次出现远超传统衍射极限的细节。
    这一次,连那名中年专家都不说话了。
    他盯着屏幕,眼神像被钉住一样。
    “再换检测路径。”
    简瑶直接把光源角度改掉。
    “偏振态打乱。”
    周群接上多角度偏振。
    “环境噪声抬高。”
    老郑把旁边一台老设备打开,让底噪往上飘。
    屏幕闪了几下。
    图像仍然稳住了。
    罗世钧的手按在桌面上,指节微微发白。
    “这不符合体相传播。”
    许燃点头。
    “所以我们不走体相。”
    他走到测试台旁边,指了指那片极简透镜模组。
    “负折射边缘态材料。”
    “传统透镜让光穿过材料内部。”
    “材料有折射率波动,就会带来像差。”
    “你们用十几组镜片去修。”
    “越修,系统越重。”
    “系统越重,热漂移、装调误差、机械振动全都会进来。”
    “我们换一条路。”
    他手指落在模组边缘。
    “光不从体相走,从边界走。”
    罗世钧抬头。
    “拓扑边缘态导光?”
    简瑶接话。
    “对。”
    “材料内部可以有缺陷。”
    “但边界态看的不是单个缺陷,而是整体拓扑结构。”
    “只要边界闭合,光路就不会轻易被体相噪声拖垮。”
    周群补了一句:
    “负折射不是拿来炫技。”
    “它把原本散掉的高频信息,从边界拖回来。”
    “这并非正面突破阿贝极限。”
    “而是绕开阿贝极限那张桌子。”
    中年专家低声骂了一句。
    “这也太不讲规矩了。”
    老郑瞥他。
    “科研讲的是结果。”
    “能跑通,就是规矩。”
    屋里终于响起几声压着的笑。
    可笑声很快停了。
    因为屏幕上,简瑶把A-17样片的势能谷线叠了进去。
    那片十四年前被判死刑的废样片,在负折射边缘态物镜下,展现出另一层结构。
    是表面势能的长程走向。
    罗世钧猛地站起来。
    “这东西能读晶圆表面势能?”
    许燃点头。
    “烛龙需要一双眼睛。”
    “不是看光刻图案。”
    “是看原子该往哪儿落。”
    罗世钧走到测试台前,弯下腰。
    他的动作很慢,像怕惊动什么。
    “你们想用这几层边缘态材料,替代几十片高精密镜组?”
    周群摇头。
    “不是替代。”
    “是重做。”
    中年专家脸上挂不住了。
    “重做容易。”
    “工程化呢?”
    “热稳定呢?”
    “批量一致性呢?”
    “边缘态材料良率呢?”
    陈容与的麦又被他自己打开了。
    “良率九十四点八。”
    “昨天还九十一,今天凌晨刚抬上去。”
    “暂时能看,但我不满意。”
    罗世钧看向屏幕。
    “九十四点八?”
    陈容与点头。
    “对,暂时的。”
    “还得往上压。”
    这下连张怀民都没忍住笑了一声。
    罗世钧却笑不出来。
    他把老式笔记本掏出来,手写了几行,又猛地停住。
    “色散补偿怎么做?”
    简瑶调出偏振耦合模型。
    “不是传统色散补偿。”
    “多极光源分频,边缘态透镜只负责锁住相位骨架。”
    “色差不在镜组里修。”
    “在光场势阱里消。”
    罗世钧深吸一口气。
    “场曲?”
    周群说:
    “拓扑边界映射。”
    “畸变?”
    许燃说:
    “材料边界提前校正。”
    “装调误差?”
    老郑接话:
    “少了几十片镜子,能调出来的误差也少了。”
    中年专家张了张嘴。
    半天没说出话。
    他看了一眼桌上那摞厚资料,又看了一眼测试台上的薄片。
    几十年堆出来的玻璃山,被一片薄薄的东西压得说不出声。
    这感觉太难受。
    又太痛快。
    罗世钧忽然抬手,按住那名中年专家的肩膀。
    “别争了。”
    中年专家咬牙。
    “老师……”
    罗世钧盯着屏幕上的势能谷线。
    “我们不是输给几层膜。”
    “是新路线已经走到门口了。”
    他沉默几秒,声音哑下来。
    “许总,我问一句。”
    许燃看着他。
    罗世钧一字一顿。
    “物镜系统,能推倒重来吗?”
    会议室里所有目光都落到许燃身上。
    许燃转身,打开地下五层的烛龙主腔结构图。
    负折射边缘态透镜的位置,已经被标成红色。
    他只回了一句。
    “已经在推了。”
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